卷绕镀膜机 (卷到卷镀膜装置)

搭载有等离子CVD以及磁控溅射源,可对树脂薄膜等基体通过卷到卷方式连续镀上组隔膜(SiO2等)・透明导电膜(ITO等)的卷绕镀膜机。

根据镀膜工艺,分为以下种类。

种类

KOBELCO 卷绕镀膜机

KOBELCO 卷绕镀膜机
卷绕镀膜机的示例(W35系列,磁控溅射的构成)

磁控溅射卷绕镀膜机

通过使用各种阴极(DC,UBMS,DMS,旋转磁石)的磁控溅射法,进行触摸屏・FPD・太阳能电池・窗膜等所必须的透明导电膜(TCO)・光学膜・金属膜的镀膜。

等离子CVD卷绕镀膜机

利用辊子之间发生的放电,进行SiOx(硅膜)的镀膜,实现有机EL・电子纸・照明・太阳能电池等所必要的阻隔性。

AIP卷绕镀膜机

利用真空电弧放电蒸发靶材,进行金属化合物膜的镀膜。

上述种类,从面向R&D・实验性生产的小型装置到面向量产的宽幅・大型装置都可对应。 对应柔性电子・能源领域的研究开发到大量生产。

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