2002年2月21日
株式会社神戸製鋼所
　　　　　　株式会社コベルコ科研

反射性・耐久性に優れた光ディスク用　銀合金薄膜
およびスパッタリングターゲット材の開発について
〜高い反射率と優れた耐久性（耐食性、耐凝集性）を実現した「Ａｇ-Ｎｄ系合金」の開発〜

　神戸製鋼はこのほど、反射性・耐久性（耐食性、耐凝集性）に優れた光ディスク用銀（Ａｇ）合金薄膜およびスパッタリングターゲット材を開発しました。今回開発したＡｇ合金の組成は、Ａｇに少量のＮｄ（ネオジム）を添加した合金をベースとする「Ａｇ−Ｎｄ系合金」です。
　すでに株式会社コベルコ科研（神戸製鋼の１００％出資子会社：以下　コベルコ科研）が、同組成のスパッタリングターゲット材を国内外の光ディスクメーカー１０数社にサンプル出荷しており、現在、本格採用へ向けた評価が行われております。

　光ディスクは近年、大容量化・高密度化が進んでおり、現在、市場には、従来のCD（Compact Disc、容量 700MB）の数倍の記憶容量を有するDVD（Digital Versatile Disc、 4.7GB）も登場しております。さらに数年後の実用化に向け約20GBの光ディスクも開発が進められております。
　このような状況の中、光ディスクに用いられる反射膜材料は従来のアルミ（Ａｌ）合金から、より高反射率、高熱伝導率を有するＡｇへの展開が進められておりますが、一方でＡｇはＡｌに比べて、耐食性や耐凝集性（耐マイグレーション性）が低いという問題があり、一般的にはそのままでは使えないと認識されています。
　そこで、当社ではＡｇの特徴を生かしつつ、「耐食性・耐凝集性」に優れたＡｇ合金の開発に取り組んで来ました。

　
今回開発した新合金ターゲット材の特長は以下の通りです。

１）反射性：
	従来のＡｌ合金よりも１０％程度高い反射率を有する。 純Ａｇとほぼ同等（１〜２％程度の低下）の高い反射率を有する。
２）耐食性：
	環境試験（温度90℃、湿度90%）においても反射率の劣化がほとんどなく、高い耐食性を有する。
３）耐凝集性：
	環境試験、熱処理後の凝集・粗面化・粒成長などの構造変化が少なく、耐凝集性に優れる。　 （凝集による膜の断裂、表面平滑性の劣化、粒成長による電気伝導率・熱伝導率の変化等が抑制されるため、反射膜の品質が安定する。）
４）膜厚の均一性：
	（ターゲット材として）微細かつ均一な組織を有しており、膜厚の均一性等に優れる。
５）リサイクル性：
	ベースに貴金属を含まないためにリサイクル等が比較的容易である。

　
　神戸製鋼グループにおけるターゲット事業については、神戸製鋼の技術開発本部がターゲット
材料の開発を行い、コベルコ科研がスパッタリングターゲットとしてこれを製造・販売しております。特にコベルコ科研は、液晶パネル用アルミ合金ターゲット材で８０％以上の世界シェアを持ち、ユーザーから高い評価を頂いております。
　今後も神戸製鋼グループとしてのシナジー効果を発揮して、新規材料開発に取り組み、多様化するユーザーニーズに対応していきます。

以上