KOBELCOの3つの約束

ロールコータ(ロールツーロール成膜装置)

概要

プラズマCVDやスパッタ源を搭載した、プラスチックフィルム等のウェブへロールツーロール方式によりバリア膜(SiO2など)・透明導電膜(ITOなど)を連続的に成膜するロールコータです。

用途

タッチパネル・FPD・太陽電池・ウィンドウフィルムなどで必要とされる透明導電膜(TCO)・光学膜・金属膜、有機EL・電子ペーパ・照明・太陽電池、フレキシブルエレクトロニクス・エネルギー分野

特長

  • スパッタロールコータ
  • プラズマCVDロールコータ
  • AIPロールコータ

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製品紹介

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