KOBELCOの3つの約束

高分解能RBS分析装置とイオンビーム機器

概要

イオンビーム技術を用いた、分析装置、加速器、ビームラインなどを提供しております。中でも、HRBS-V500は、半導体などの超薄膜の、組成分布、結晶性分布、膜厚を、高深さ分解能で分析可能な分析装置です。

用途

導体(High-k, SiONなどのゲート膜)、磁性体(TMR, GMR, MRAMなど)、有機物

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