PVDコーティング装置

真空蒸着法にはさまざまなプロセスがありますが、神戸製鋼が設計・製作しているプロセスは、PVD法のアークイオンプレーティング方式とスパッタ方式、さらにCVD法ではプラズマCVD方式があります。

真空蒸着法の分類

真空蒸着法の分類

1986年、神戸製鋼はAIP™ の設計・製造を開始、以来国内・海外ユーザー80社に迫る納入実績を有し、切削工具、自動車・機械部品、金型、電子部品など多様な工業分野で高い評価を得ています。

1998年には日本では他に先駆けて、アンバランスド・マグネトロン・スパッタ装置UBMS™ を開発、まずDLC膜で比類のない高い密着力を得ることに成功しました。これによりこれまで超硬金型に限定されていたその用途も、機械部品にまで広がることになりました。UBMSはDLC以外にも利用を広げるため開発が続けられています。

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