HMDSO等の原料ガスを用いたプラズマCVDにより、ハイバリア膜用SiOx等の高速成膜を実現します。
R&D・パイロット生産向けロールコータ
W35シリーズ
ローラー間プラズマ
量産向け PECVDロールコータ W60Cシリーズ
CVDロールコータ概念図
対向する二極の電極ローラ間に原料ガス流してプラズマ放電を生じさせることで、主にハイバリア膜用SiOxを成膜します。
本CVDで成膜されるコーティング膜は可撓性に富み、フレキシブルなプラスチックフィルム上に厚みのある成膜が可能です。
その特徴を活かしたSiOx膜にて水蒸気透過率WVTR 1×10-2(g/m2/day)以下のバリア膜が成膜できます。