当社はこのたび省スペース化、高機能化を実現したナノ薄膜分析装置として「縦型高分解能ラザフォード後方散乱分析装置」の開発を完了し、販売を開始しました。当社は98年から横型の高分解能ラザフォード後方散乱分析装置（RBS）（*1）を販売しています。このたび、小型で軽量な加速器を開発し、装置構造を横型から縦型へ変更することで面積にして30%、全長で50%の設置スペースが削減できました。更に、エネルギーの検出器を最適な角度に容易に移動・設定が出来る機構（散乱角度自在変更機構：オプション機能）や独自開発の解析ソフトによる解析作業の簡素化機能（自動フィッティング機能）も加え、使い易さや機能性を大幅に向上しました。

　高分解能ラザフォード後方散乱分析とは、ヘリウムなどの軽元素イオンを加速器を用いて高速で試料に当て、試料中の原子核に衝突してはね返ってきたイオンのエネルギーの大きさを高分解能検出器で測定することで、相手元素やその分布などを分析する装置のことです。
　当社の製造するこの分析装置は、2ｵﾝｸﾞｽﾄﾛｰﾑ（*2）（0.2ﾅﾉﾒｰﾄﾙ）という世界的にも最高レベルの深さ方向識別性能（分解能（*3））を持っています。微細化・集積化の進む次世代LSI（MOSFET（*4））の開発にとって中核要素であるナノメートルレベルのゲート絶縁膜(High-k)（*5）の組成分析や、次世代半導体メモリーとして有望なMRAM（エムラム*6）の磁性多層膜を1原子層レベルの精度で計測することが可能です。

　このたびの縦型ＲＢＳ装置に新たに付加された特徴・機能は以下の通りです。

　その他、各種機能薄膜の元素の定量分析、結晶性評価、水素分析、格子の歪み測定機能等に上記各種の改良を加えて一層の完成度を高め、原子レベルの分析、解析を行うツールとして、次世代半導体薄膜・磁気記録関連多層薄膜の開発を行う大学やメーカーなどの研究機関向けとして近年のナノテクノロジーに対応しています。

　これら種々のアプリケーションの適用については共同開発者である京都大学工学研究科・木村健二教授の支援、協力を得ながら高分解能ラザフォード後方散乱の更なる展開を進めています。

　尚、今回新発売する縦型高分解能ラザフォード後方散乱分析装置に搭載しました小型加速器は、NEDO（独立行政法人　新エネルギー・産業技術総合開発機構）から委託され実施している、基盤技術研究促進事業から得られた開発技術を一部に採用したものです。

　当社はこの新商品の他にも、タンデム型（*8）マイクロRBSｰPIXE（*9）､標準型マイクロRBSｰPIXE及びマイクロビームライン（*10）、横型HRBS、エンドステーション、加速器等をラインアップし、ユーザニーズに対応しています。そして今後とも独創的な新商品の開発、高機能化・自動化の提案などを積極的に行っていく考えです。

以　上

【語句説明】