PETフィルム等の基材に対し、ロールtoロール方式で連続成膜する装置です。

成膜プロセスによって、設備としては以下のバリエーションがございます。

バリエーション

ロールコータの例

ロールコータの例(W35シリーズ)

装置ラインナップ

PECVDロールコータ

対向する二極の電極ローラ間に原料ガス流してプラズマ放電を生じさせることで、主にバリア膜用SiOxを成膜します。

適用事例:ハイバリア膜(有機EL・電子ペーパ・照明・太陽電池)

スパッタロールコータ

各種スパッタカソードを用いて、透明導電膜・光学膜・金属膜を成膜します。

適用事例:タッチパネル・FPD・太陽電池・ウィンドウフィルム

AIPロールコータ

金属箔に対しアークイオンプレーティング法によって、金属窒化物膜を両面成膜します。

適用事例:アルミ電解コンデンサ

お問い合わせ先

株式会社 神戸製鋼所 機械事業部門
営業・マーケティング本部
新事業推進部 高機能室
TEL:03-5739-6761

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