プラズマCVDロールコータ

HMDSO等の原料ガスを用いたプラズマCVDにより、ハイバリア膜用SiOx等の高速成膜を実現します。

R&D・パイロット生産向けロールコータ W35シリーズ

R&D・パイロット生産向けロールコータ
W35シリーズ

ローラー間プラズマ

ローラー間プラズマ

量産向け PECVDロールコータ W60Cシリーズ

量産向け PECVDロールコータ W60Cシリーズ

原理

CVDロールコータ概念図

CVDロールコータ概念図

対向する二極の電極ローラ間に原料ガス流してプラズマ放電を生じさせることで、主にハイバリア膜用SiOxを成膜します。

特徴

  1. 高速成膜:150~250nm・m/min
  2. 低コンタミネーション
  3. 長時間安定放電が可能
  4. コーティング膜種:SiOx、DLC
  5. 原料ガス:安全性の高いHMDSO等を使用

アプリケーション例

1.透明バリア膜

本CVDで成膜されるコーティング膜は可撓性に富み、フレキシブルなプラスチックフィルム上に厚みのある成膜が可能です。

その特徴を活かしたSiOx膜にて水蒸気透過率WVTR 1×10-2(g/m2/day)以下のバリア膜が成膜できます。

2.光学膜

3.ハードコート膜(透明保護膜)

お問い合わせ先

株式会社 神戸製鋼所 機械事業部門
営業・マーケティング本部
新事業推進部 高機能室
TEL:03-5739-6761

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