KOBELCOの3つの約束

高機能商品 ロールコータ(ロールツーロール成膜装置)

プラズマCVDやスパッタ源を搭載した、プラスチックフィルム等のウェブへロールツーロール方式によりバリア膜(SiO2など)・透明導電膜(ITOなど)を連続的に成膜するロールコータです。

成膜プロセスによって、以下のバリエーションに分けられます。

バリエーション

スパッタロールコータ

 

各種カソード(DC, UBMS, DMS, ロータリーマグネトロン)を用いたスパッタリング法によって、タッチパネル・FPD・太陽電池・ウィンドウフィルムなどで必要とされる透明導電膜(TCO)・光学膜・金属膜を成膜します。

プラズマCVDロールコータ

 

ローラ間で発生する放電を利用してSiOx(シリカ膜)を成膜し、有機EL・電子ペーパ・照明・太陽電池などで必要とされるバリア性を実現します。

AIPロールコータ

 

真空アーク放電を利用してターゲット材料を蒸発させ、金属化合物膜を成膜します。

上記バリエーションは、R&D・パイロット生産向けの小型装置から、量産向け巾広・大型装置への対応が可能です。フレキシブルエレクトロニクス・エネルギー分野での研究開発からフル生産までのニーズにお応えします。

ロールコータの例 (W35シリーズ、スパッタでの構成)

装置ラインアップ

1.R&D・パイロット生産向けロールコータ (W35シリーズ):スパッタ and/or PECVD

R&D・パイロット生産向けロールコータ

R&D・パイロット生産向けロールコータ W35シリーズ
  1. 小型・省スペース
  2. フィルム巾:350mm(~800mm)
  3. プロセス・フレキシビリティー
    • スパッタ、CVD、AIP、EB蒸着などが搭載可。
    • 高耐熱フィルム対応:温調されたメインドラムによって300℃でのスパッタ成膜プロセスが可能。

2.量産向けスパッタロールコータ(W50/60Sシリーズ)

量産向けロールコータ W50シリーズ

量産向けスパッタロールコータ
  1. メンテナンス性
  2. フィルム巾:1,300mm、1,600mm(~2,000mm)
  3. スパッタエリア数:1ドラムあたり最大4ゾーン、分割ゾーン排気
  4. 脱ガス機能の充実

3.量産向けPECVDロールコータ(W60Cシリーズ)

AIPロールコータ AIP-W500

量産向けPECVDロールコータ
(W60Cシリーズ)
  1. フィルム巾:1,300mm、1,600mm(~2,000mm)、2ゾーン成膜
  2. メンテナンス性:コーティングゾーン他がメンテナンス時に全開
  3. 高成膜速度
  4. 低コンタミネーション、高材料利用率
  5. 均一成膜(幅方向、長手方向)

4.AIPロールコータ

AIPロールコータ AIP-W500

AIPロールコータ AIP-W500
  1. 金属箔への連続成膜
  2. 両面成膜

4.カスタム対応

丸チャンバ・引抜型ロールコータ

丸チャンバ・引抜型ロールコータ

脱ガス装置

脱ガス装置

アプリケーション例

  1. タッチパネル用ITOフィルム、メタルメッシュ(Cu, Ag, Al)
  2. 樹脂フィルム(PET, PENなど)を基板とする表示デバイス(液晶、有機EL、電子ペーパ)・照明デバイス
  3. ポリイミド(PI)に銅を積層したフレキシブル基板
  4. 金属箔や樹脂フィルムをベースとする薄膜型の太陽電池
  5. 二次電池、コンデンサ
  6. ウィンドウフィルム
  7. 抗菌フィルム

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株式会社神戸製鋼所 機械事業部門

高機能商品部 営業室

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