DLC膜の受託加工はお任せください。
DLC（ダイヤモンドライクカーボン）の新しい歴史が始まりました。
神戸製鋼はUBMS™ を使用した、高性能DLC膜の受託加工を承っています。
従来のDLCにご不満で、利用をあきらめていた方も、ぜひご相談下さい。
UBMSを利用したDLCなら
DLC膜は高硬度、低摩擦係数という特質をもちながら、既存のプロセスでは密着力が低いために、その用途が偏りがちでした。
神戸製鋼が開発したUBMS™ －アンバランスド・マグネトロン・スパッタリング装置は、高い密着力を実現し、バランスのとれた皮膜でDLCのアプリケーションを広げています。
非平衡磁場により基板近傍のプラズマ密度が高くなり、基板へのイオンアシスト効果が増大します。
基板に印加するバイアス電圧を制御することで、膜構造、結晶性、組成、密着性、表面morphologyなどのDLC膜特性を制御できます。
量産用中型UBMS装置
UBMS504
有効処理空間：Φ450×H400
UBM蒸発源：4式搭載
| 名称 | DLC 種別 |
適用膜厚 （μm） |
特長 | 代表的用途 |
|---|---|---|---|---|
| BELCOAT®B | 標準 | 0.5～5 | 耐摩耗性、摺動性、密着性のバランス | 一般機械部品 金型 |
| BELCOAT®HB | 高硬度 | 1～5 | 耐摩耗性重視 | 自動車部品 高負荷機械部品 |
| BELCOAT®UB | 超高硬度 | 1～4 | 高面圧条件化での耐摩耗性を重視 | 自動車部品（レース用） 切削工具 |
| BELCOAT®NB | ナノ積層 | 1～10 | 耐摩耗性と摺動性を両立、靭性･耐衝撃性に富む | 軸受、打抜金型 |
| BELCOAT®MB | 金属ドープ | 1～10 | ドープ金属種、量により特性変化。 応力緩和効果 |
自動車部品 樹脂成型金型 |
※摩擦係数はドライ条件、対Fe系材料に対する値。
※上記の他にもご用途に応じた様々なDLCを提案いたします。
従来の硬質膜に比べて、非常に小さな摩擦係数を示します。
金属/C傾斜層を中間層とすることでDLC膜の高い密着力を実現します。
スクラッチテスター臨界荷重：超硬100N、工具鋼70N
| 部品 |
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|---|---|
| 金型 |
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| 工具 |
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| 刃物 |
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| その他 |
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DLC膜の耐凝着性、耐摩耗性効果→ 寿命9倍
最大回転数19,000rpm、最高出力700馬力の驚異的な仕様を誇るF1レースエンジンに当社の高硬度・高密着性DLCコーティングを適用
| 適用可能寸法 |
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|---|---|
| 成膜可能材質 | 超硬、SUS、工具鋼、金型鋼、アルミ合金、セラミック、ガラス ※従来は出来なかったCrメッキ品、Ti合金、窒化物系皮膜にも成膜可能です。詳しくはお問合せ下さい。 |
| 処理温度 | 150～300℃ ※100℃以下の低温処理も可能です。 詳しくはお問合せ下さい。 |
| DLC以外の適用膜種 | 窒化膜（TiN TiAlN CrN など） 酸化膜（Al2O3など）、硫化物膜（MoS2など） 各種金属膜（Au、Ag、W、Ta、Nb、Vなど） |
| 膜厚 | 1～10μｍ |
自動車部品（ロッカーアーム、リテーナ、ピストンリング） 