UBMSによるDLCコーティング

お問い合わせ

DLC膜の受託加工はお任せください。

DLC（ダイヤモンドライクカーボン）の新しい歴史が始まりました。
神戸製鋼はUBMS™ を使用した、高性能DLC膜の受託加工を承っています。
従来のDLCにご不満で、利用をあきらめていた方も、ぜひご相談下さい。

特長

UBMSを利用したDLCなら

DLC膜は高硬度、低摩擦係数という特質をもちながら、既存のプロセスでは密着力が低いために、その用途が偏りがちでした。
神戸製鋼が開発したUBMS™ －アンバランスド・マグネトロン・スパッタリング装置は、高い密着力を実現し、バランスのとれた皮膜でDLCのアプリケーションを広げています。

非平衡磁場により基板近傍のプラズマ密度が高くなり、基板へのイオンアシスト効果が増大します。
基板に印加するバイアス電圧を制御することで、膜構造、結晶性、組成、密着性、表面morphologyなどのDLC膜特性を制御できます。

量産用中型UBMS装置
UBMS504LL

名称	DLC 種別	適用膜厚（μm）	特長	代表的用途
BELCOAT B	標準	0.5～5	耐摩耗性、摺動性、密着性のバランス	一般機械部品金型
BELCOAT HB	高硬度	1～5	耐摩耗性重視	自動車部品高負荷機械部品
BELCOAT UB	超高硬度	1～4	高面圧条件化での耐摩耗性を重視	自動車部品（レース用）切削工具
BELCOAT NB	ナノ積層	1～10	耐摩耗性と摺動性を両立、靭性･耐衝撃性に富む	軸受、打抜金型
BELCOAT MB	金属ドープ	1～10	ドープ金属種、量により特性変化。応力緩和効果	自動車部品樹脂成型金型

従来の硬質膜に比べて、非常に小さな摩擦係数を示します。

金属/C傾斜層を中間層とすることでDLC膜の高い密着力を実現します。

部品	自動車部品（ロッカーアーム、リテーナ、ピストンリング）油圧ポンプ部品（ピストンシュー、ピストン）工作機械・繊維機械部品（ガイド、スリーブ）摺動部品（軸受、ボールネジ、ガイドレール）電子・精密機械部品（ウェーハー、ディスクハンドリング部品、ガラス冶具）
金型	樹脂型/精密金型、チップ用金型銅管加工用工具、銅管・SUS管トリミングダイス切断・打抜パンチ/Al曲げ加工用ロール、アルミ鍛造金型
工具	ドライカット用切削工具（エンドミル、PCBマイクロドリル） Al･銅材用メタルソー／スリッタ／木材用丸鋸
刃物	剃刀刃／ナイフ・カッタ刃／グラスウール切断鋏/鉋刃樹脂機械用ダイス／ブレード
その他	ゴルフドライバーヘッド

最大回転数19,000rpm、最高出力700馬力の驚異的な仕様を誇るF1レースエンジンに当社の高硬度・高密着性DLCコーティングを適用

適用可能寸法	有効処理範囲中型機　Φ450×H600mm 重量中型機　～180Kg ※装置への取付方法、成膜面などにより変わります。詳しくはお問合せ下さい。
成膜可能材質	超硬、SUS、工具鋼、金型鋼、アルミ合金、セラミック、ガラス ※従来は出来なかったCrメッキ品、Ti合金、窒化物系皮膜にも成膜可能です。詳しくはお問合せ下さい。
処理温度	150～300℃ ※100℃以下の低温処理も可能です。詳しくはお問合せ下さい。
DLC以外の適用膜種	窒化膜（TiN　TiAlN　CrN など）各種金属膜（W、Nbなど）
膜厚	1～10μｍ

電話・フォームでのお問い合わせを受け付けております。まずはお気軽にご相談ください。