空気圧縮機（半導体工場向け）

ウェハ製造工程 前工程 後工程

高効率でクリーンな圧縮空気

エアコンプレッサ（空気圧縮機）は、大気中の空気を圧縮し、工場の動力空気や窒素などの工業ガスを供給する、工場設備にはなくてはならないユーティリティ装置です。
大きく、給油式・オイルフリーの2種類があり、オイルフリーコンプレッサは、油分を含まないクリーンエアを供給することができます。

特長

エアコンプレッサは半導体製造プロセスのうち、主に「クリールーム空調（恒温恒湿空調）」「純水加温」その他各種プロセスに多く使用されております。

クリーンルーム空調には、きわめて清浄度の高い（低露点・低ダスト・オイルフリー）空気が求められます。コベルコは、クリーンルーム用途のハイレベルな要望にお応えします。

半導体の生産プロセスでは、ダスト除去・ウェハの搬送・ロボットの駆動・真空成膜の為のクリーンエアや、アニール処理・拡散接合時の不活性ガスとして利用される窒素の原料空気を提供しています。

省エネの最大化に加え、インドの酷暑期での低露点維持という難しい課題に対して、システムトータルでの最適化を提案しました。

クラス最高水準の比エネルギー性能を達成。次代を担うミドルレンジ・オイルフリー。

世界最高レベルの比エネルギー性能を追求した、エメロードのフラッグシップモデル。

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