ヒートポンプ（半導体工場向け）
前工程
小さい投入エネルギーで、大きな熱エネルギーを得られる、省エネ機器
ヒートポンプは、水と冷媒の熱交換を通し冷温水を生成する設備です。その最大の特徴は1の投入エネルギーに対し、数倍もの熱エネルギーを得られるため、省エネ設備としてランニングコストを大きく抑えられる点であり、半導体製造プロセスにおける脱炭素を実現可能な熱源設備です。
取扱会社：コベルコ・コンプレッサ株式会社
特長
- 業界最高効率
- 自社製スクリュ圧縮機採用による耐久性
- 幅広い供給温度（冷水下限5℃、温水上限95℃）
- 他熱源と比較して圧倒期に省スペース
クリーンルームへの導入イメージ
クリーンルーム空調
クリーンルーム内の除湿用に冷水を、再熱用に温水を使用しますが、一般的な「冷水チラー＋蒸気ボイラ」の熱源構成からヒートポンプへ置換えすることで大幅な省エネ・省CO2が可能です。
純水加温
温排水からの熱を回収することでヒートポンプを活用。排熱回収により生成した温水は半導体の洗浄に利用する純水の加熱に利用し、加熱源をボイラーからヒートポンプに変えることでエネルギーの効率化を実現可能です。
導入事例
製品ラインナップ
お問い合わせ
電話・フォームでのお問い合わせを受け付けております。まずはお気軽にご相談ください。