水素発生装置（半導体工場向け）
前工程
カーボンニュートラルをサポートし、半導体製造プロセスでの多様な水素ニーズに応える
水電解型水素製造装置（HHOG）は、固体高分子電解質膜を利用して水を電気分解することにより、水素ガスを製造し、オンサイトで供給する装置です。
半導体、装置、材料メーカー様の各工程や実証設備で使用される水素ガス供給に御利用いただいており、30年以上の納入稼働実績があります。
販売元：株式会社神鋼環境ソリューション
特長
- シンプルな操作、メンテナンス
- 高純度水素（酸素）ガスを発生
- 高い安全性、信頼性
- クリーンな作業環境
- 豊富な納入実績
水素発生装置のシステムフロー
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