水素発生装置（半導体工場向け）

カーボンニュートラルへの取組みをサポートし、半導体製造プロセスでの多様な水素ニーズに応える

水電解式高純度水素発生装置（HHOG®）は、固体高分子電解質膜を利用して水を電気分解することにより、水素ガスを製造し、オンサイトで供給する装置です。
半導体、装置、材料メーカー様の各工程や実証設備で使用される水素ガス供給にご利用いただいており、1990年代の販売開始以来、30年以上にわたり納入実績がございます。
また、豊富な実績に裏打ちされたメンテナンス専任部隊も有しており、万全のバックアップ体制で水素供給を支えます。

販売元：株式会社神鋼環境ソリューション