半導体製造装置向けターボ分子ポンプ用ローター素材
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真空排気に重要なターボ分子ポンプ用ローター素材
排気性能の向上により、ターボ分子ポンプには高温強度が要求されます。当社では高温強度に優れ、機械加工しやすく、均一な材料を製造可能です。
（機械加工後）
（機械加工前）
特長
材料から一貫で製造できることにより、ターボ分子ポンプ用ローター材に求められる特性を漏れることなく満足することができます。
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