アルミハニカム製真空チャック
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製造装置の軽量化
神鋼ノースから、製造装置の軽量化に最適なアルミハニカム製の真空チャックをご紹介いたします。
近年の大型化する製造装置に対して、装置床荷重が設計時の大きな課題となっております。
装置のテーブルへアルミハニカムパネルを採用することで、装置テーブル重量を20kg/m2以下に抑えることが可能です。
装置テーブルの重量軽減により、テーブル駆動装置や周辺装置の小型化が可能となり、装置全体の軽量化が可能となっております。
オーダー設計の対応でハニカムパネル+真空チャックをワンパッケージで供給することができます。
取扱会社：神鋼ノース株式会社
特長
- ハニカムパネルの採用で2000×8000までの大型テーブルが構築可能
- オーダー設計で専用テーブルを真空チャック化
- チャック面積の切り分けや、各種穴加工にも対応
- 多孔箔シートとの組み合わせで様々な素材、形状に対応可能
| 孔径 | φ0.5～ |
|---|---|
| 穴ピッチ | 10mm～ |
| 最大サイズ | 2000×8000mm |
| 平面度 | 0.2mm～ |
| 表面仕様 | 素地 アルマイト 切削仕上げ |
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