半導体製造装置の精密洗浄
前工程
後工程
各種製造装置を構成するパーツを効率よく環境にやさしく再生します。
- 半導体製造装置等の安定稼働を支援
- 素材を傷めずに付着物だけを除去
- 部品再生によりコストダウンに貢献
- レアメタル回収サービスを提供
取扱会社：株式会社MCエバテック
イオン注入装置部品洗浄
レアメタル回収サービス
クリーンルーム作業
シャワープレート再生洗浄
取扱品目
スパッタ装置／CVD装置／イオン注入装置／エッチング装置／真空蒸着装置／イオンプレーティング装置の構成部品、防着部品類、配管類及び石英・セラミック・樹脂・ガラス等の素材品
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